目前电力系统电力设备中，GIS组合电气、变压器、断路器器等电气设备的灭弧和绝缘气体广泛使用SF6气体。SF6气体的优越性能实现SF6电器设备在电力系统中的应用越来越成熟。SF6气体本身是无毒的，化学性质稳定。但SF6气体在电弧作用下会分解一些有害物质，这些分解物会与水发生化学反应，产生一些有毒、腐蚀性的物质。从而导致SF6电气设备长期安全稳定的运行，以及危害人身健康。由于SF6气体水分超标造成设备出现安全隐患，甚至因发现不及时在电力系统内发生故障。SF6气体中水分的含量有其严格的规定，有效控制SF6气体中水分的含量，才得以能确保SF6电力设备的安全运行。根据六氟化硫气体电力设备管理和检测规程，定期做SF6气体微水测量实验那是必不可少的。
SF6电气设备气体水分的危害主要有三个方面：
一、水汽引起SF6设备化学腐蚀
(1)在常温下SF6气体稳定性极好，当温度低于500℃时一般不会自行分解，但当SF6气体中含有水汽时，温度高于200℃就可能产生水解反应，生成HF和S02，SF6气体在电弧作用下发生自分解反应，与水汽发生反应产生腐蚀性HF、H2S03，使设备内部零件的表面腐蚀。设备内部水分在凝露或相对湿度较大会造成内部构件材料绝缘性能的下降而导致事故发生，特别是当水分与绝缘材料表面附着的电弧分解产物相互作用时，会大大降低其绝缘性；
二、化学反应产物固体粉尘，会降低灭弧室击穿电压
(2)在电弧作用下，SF6气体与电极材料金属铜和钨蒸气发生反应，生成金属氟化物和低氟化物，与水汽反应生成物W03和CuF2呈粉末状态沉积在灭弧室内，粉尘若沉积在电极表面将会降低灭弧室击穿电压。断路器内部过多的水分和其它气体杂质的存在会阻碍SF6气体在灭弧过程中的复合，从而导致设备电弧开断能力的下降；
三、水汽的存在会降低绝缘子表面闪络电压
(3)水分与电弧分解产物发生水解产生地腐蚀性很强的酸性物质会对设备金属材料和绝缘材料造成腐蚀而导致设备机械性能和绝缘性能劣化。SF6气体本身含有一定的水汽，设备密封处也会渗入水汽。除了使固体绝缘子的绝缘强度降低外，还会因温度降低时，可能在设备内部结露，附着在绝缘子和设备内零件表面，大大降低绝缘子表面的闪络电压。
SF6电气设备气体微量水分测量
ZYWS-S SF6气体微水测量仪是卓亚电力研发中心根据国家电力行业标准DL/T506-2007《六氟化硫电气设备中绝缘气体湿度测量方法》和现场的使用要求研发而成，是测量SF6气体中微量水分含量的高精度智能型电力测试仪，SF6智能微水测量仪适用于石油、电力、冶金、环保、科研院所以及电建等单位和部门。SF6气体微水测量仪配有多种接头以及德国原装进口自锁触头，安全可靠，无漏气，保证数据准确性和可靠性，便携式操作，测试过程响应时间快、测量周期短，显示直观，操作简便。 SF6微水仪采用智能化自校准技术，测量范围宽，响应速度快，准确度高，线性好，测量曲线动态显示。
